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Brooks Instrument流量控制器技术资料

布鲁克斯5850EMH系列高温热式质量流量控制器可满足高温苛刻条件应用需求的高纯度流路

现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的高温金属封装热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

应用

光纤制造 - MCVD

硅材料半导体器件加工工艺

CVD（蒸汽形式的前体输送）

剥落（水蒸气）

腐蚀（水蒸气钝化）

参数

流体类型    气体 , 水汽

流量范围    满量程容量3 sccm - 10 slm

精度        SP ±1%

最大压力    145 psig

温度        150℃

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