低流量，双向常闭（NC）比例阀，带有集成的热补偿功能，可在各种介质上保持和可重复的流量。
VSO低流量阀可在0-500 sccm之间提供的控制流量控制。与VSO微型比例阀一样，VSOLowFlow微型比例阀可根据输入电流提供的气体流量控制。可以通过DC电流或脉冲宽度调制以及闭环来控制阀门。 VSO低流量微型比例阀非常适合气相色谱和质谱设备制造商。

•实现的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高仪器精度
•进行热补偿以保持各种介质的流动
用于性能可追溯性的计算机自动校准和序列化
•清洁氧气和分析服务使用
经过验证的性能测试到1000万个生命周期
•符合RoHS标准

PARKER派克VSO低流量微型比例阀典型应用行业如下：
•气相色谱
•质谱
•压力和流量控制
•质量流量控制